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最新のマクロ検査ニーズの為の数々の新機構を採用したウェハローダ。
高密度化、多層化、高段差化が進む最新のウェハプロセスに対応して、マクロ検査機能として、搬送（ミクロ検査）、表面マクロ検査、裏面中央マクロ検査、裏面周辺マクロ検査を可能としたタイプ。 ユーザの用途に応じてTBM/TM/Tの３機種から選べます。
光電式センサによる非接触センタリングによるコンタミネーション対策、大きく見やすい操作用液晶画面、マルチアーム方式による無駄のないウエハのロード・アンロード動作などによる高スループットなど、様々な特徴を持ちます。対応ウエハはφ200mmウェハとφ150mmウェハ用の２タイプ
(写真はLSI検査顕微鏡エクリプスL200との組み合わせ例） |
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最新のマクロ検査ニーズの為の数々の新機構を採用したウェハローダ。
■静電気に帯電しない、ステンレスカバーを採用。
■非常停止スイッチ(EMO対応）付き
■真空吸着部はウェハに傷がつきにくいピーク材
■SEMI(SECS)規格準拠の外部通信機能(オプション）
(写真はLSI検査顕微鏡エクリプスL200との組み合わせ例） |
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最新のマクロ検査ニーズの為の数々の新機構を採用したウェハローダ。
NWL-860TMB-SP/MB-SPの機能を更にアップ。SMIFエレベータに対応したタイプです。
(写真はLSI検査顕微鏡エクリプスL200との組み合わせ例） |
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最新のマクロ検査ニーズの為の数々の新機構を採用したウェハローダ。
■表面マクロ、裏面周辺マクロ、裏面中央マクロ検査機能を装備した、マクロ検査専用のタイプです。 |
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φ150/100mm対応のコンパクト＆シンプル操作のウエハローダです。
(写真はLSI検査顕微鏡との組み合わせ例） 操作はコントロールパネルのキータッチ中心に簡単に行えます。 また約２秒という高速のウエハ交換、ニコン独自のフラッタリングモードなど多彩な観察機能により、快適で効率的なマクロ検査を実現します。
ミクロ検査専用機
NWL641
ミクロ検査＋マクロ検査機
NWL641M |
